旋轉(zhuǎn)芯片機械泵主要由泵體和電機兩部分組成。耐腐蝕自吸泵其過流部件全部采用目前世界上耐腐蝕性能最優(yōu)秀“塑料王”制造，泵體采用金屬外殼內(nèi)襯聚全氟乙丙烯，泵蓋、葉輪均用金屬嵌件外包氟塑料整體燒結(jié)壓制而成，隔離套采用特殊材料制造，具有高強度的力學(xué)性能，消除了普通磁力泵存在的磁渦流現(xiàn)象。自吸泵它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、運行平穩(wěn)、維護容易、效率高、壽命長，并有較強的自吸能力等優(yōu)點。管路不需安裝底閥，工作前只需保證泵體內(nèi)儲有定量引液即可。不同液體可采用不同材質(zhì)自吸泵。泵體中有一個圓柱型型腔，整個型腔都放置在油箱中。自吸泵它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、運行平穩(wěn)、維護容易、效率高、壽命長，并有較強的自吸能力等優(yōu)點。管路不需安裝底閥，工作前只需保證泵體內(nèi)儲有定量引液即可。不同液體可采用不同材質(zhì)自吸泵。腔體配有通風(fēng)管和水平耐酸基自吸泵門，腔內(nèi)有一個偏心安裝的圓柱形轉(zhuǎn)子，由泵體外的電機驅(qū)動。旋轉(zhuǎn)器上有兩個凹槽，凹槽上安裝兩個渦流，旋轉(zhuǎn)板之間有一個彈簧，當(dāng)旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)時，兩個旋轉(zhuǎn)板的頂部總是滑向型腔的內(nèi)壁，在旋轉(zhuǎn)器和腔內(nèi)壁之間形成動態(tài)密封。

　旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)時的幾個典型工作位置。在旋轉(zhuǎn)過程中，渦流將空腔和旋轉(zhuǎn)器之間的彎曲的月形體積分為兩部分（有時是三個部分）：一部分是連接出口閥的排氣腔，另一個是連接內(nèi)管的吸氣腔。在上一個工作周期中逐漸壓縮吸入氣體的同時吸氣。吸氣切斷（此時吸氣腔最大）將開始壓縮。吸氣腔再次吸入，排氣腔繼續(xù)壓縮。排氣腔中的氣體被壓縮到多個大氣的壓力，因此它可以打開排水防酸自吸泵門并逃逸到大氣中，吸氣腔開始下一次吸入。所以來回。

　工作時，輪回隨渦流連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體不斷排出以完成泵送動作。玫瑰花帶速度一般為 450 至 1400r/min。如果旋轉(zhuǎn)速度較快，泵送速度越大，但在高速下泵內(nèi)溫度較高，保證密封難度較大。為了確保排氣和吸氣腔之間沒有泄漏，使用蒸汽壓力低和一定粘度的機械泵油作為密封填充間隙。泵油的其他三個功能是潤滑、冷卻和幫助在低排氣水平下打開出口閥。機械泵油通過特殊的油路進入人體泵腔。因此，此泵也稱為油封旋轉(zhuǎn)機械泵。

　上述單級泵一般可獲得極限壓力P約為1Pa，這主要受羅頓密封和腔接觸區(qū)泄漏的限制，漏氣量直接小于密封現(xiàn)場兩側(cè)的壓力差。單級泵的這種壓力差是大氣壓力。為了減少這種壓力差，提高極限真空，旋轉(zhuǎn)芯片機械泵一般采用兩級泵結(jié)構(gòu)。兩個泵以相同的速度和方向以相同的速度和方向輪流旋轉(zhuǎn)，當(dāng)前泵處于吸力位置時，后泵就在排氣中，從而減少后泵圈和腔接觸區(qū)密封之間的壓力差。

　兩級泵可以達到的極限壓力約為 10-2Pa 級，這主要取決于泵油的飽和蒸汽壓力以及油在使用過程中受到的污染和裂變。兩級泵結(jié)構(gòu)主要用于提高泵的P值，這有助于提高泵的最大泵送速度，但可以改善泄漏后在低壓下泵速。